Carl Zeiss SMT

Geschichte

Die Carl Zeiss SMT GmbH bildet den Unternehmensbereich Halbleitertechnik der Carl Zeiss AG und entwickelt und produziert Ausrüstungen für die Fertigung von Mikrochips. Das Unternehmen befand sich bis 2016 zu 100 Prozent im Besitz der Carl Zeiss AG. Im November 2016 erwarb das niederländische Unternehmen ASML für rund eine Milliarde Euro 24,9 Prozent der Carl Zeiss SMT GmbH.Der Unternehmensbereich hat seinen Hauptsitz in der schwäbischen Stadt Oberkochen. Weitere Standorte befinden sich in Jena, Wetzlar, Roßdorf und Karmiel, Israel. Insgesamt sind etwa 2.800 Mitarbeiter <ref name="smt.zeiss.com/daten und fakten"> an diesen fünf Standorten beschäftigt. Rund 30 Prozent aller Mitarbeiter sind im Bereich Forschung und Entwicklung eingesetzt.ProduktbereicheHalbleiterfertigungs-OptikDieser Zeiss Unternehmensbereich entwickelt und fertigt Optiken für die Halbleiterfertigung. Kerngeschäft sind Lithografie-Optiken, welche das Herzstück eines Wafer-Scanners bilden. Die Entwicklung und Fertigung der Projektionsoptik sowie die Entwicklung der zugehörigen Beleuchtungs-Systeme finden am Standort Oberkochen statt, die Fertigung der Beleuchtungs-Systeme auch am Standort Wetzlar. Neben den Lithografie-Optiken hat sich der Unternehmensbereich auf zahlreiche weitere Optiken spezialisiert, so unter anderem auf Optikkomponenten für Laser, die als Lichtquelle für lithografische Systeme genutzt werden.